Vanadium is een zilvergrijs metaal met een dichtheid van 6,11 g/cm3en een smeltpunt van 1919±2 graden. Het is een zeldzaam metaal met een hoog smeltpunt. Bij de productie van geïntegreerde schakelingen wordt over het algemeen puur goud gebruikt als de geleidende oppervlaktelaag, maar goud- en siliciumwafers zijn geneigd AuSi-verbindingen met een laag smeltpunt te genereren, wat resulteert in een zwakke binding tussen de goud- en siliciuminterfaces.
Daarom wordt een bondinglaag toegevoegd aan het oppervlak van de goud- en siliciumwafers. Zuiver nikkel wordt vaak gebruikt als bondinglaag, maar er zal ook diffusie ontstaan tussen de nikkellaag en de gouden geleidende laag. Daarom is een barrièrelaag vereist om diffusie tussen de gouden geleidende laag en de nikkel bondinglaag te voorkomen.
De barrièrelaag moet een metaal met een hoog smeltpunt gebruiken en moet een grote stroomdichtheid kunnen weerstaan. Vanadium met een hoge zuiverheid kan aan deze vereiste voldoen. Vanadium met een hoge zuiverheid heeft ook een goede plasticiteit en kan worden gerold tot platen, folies en getrokken tot draden bij kamertemperatuur.
Voorbereidingsproces van vanadiumdoelwit
1. Snijd de vereiste zuiverheid vanadiumstaaf op maat met een horizontale zaagmachine, verwarm deze voor op 450-500 graden, smeed deze vervolgens en controleer de totale vervormingsgraad van het smeden op 70-80%;
2. Gloei de gesmede vanadiumstaaf bij een temperatuur van 400-500 graden en een houdtijd van 60-120 minuten, en koel hem vervolgens af door middel van luchtkoeling;
3. Rol de gegloeide vanadiumstaaf en controleer de pershoeveelheid van elke doorgang tot 0.5-1mm, en controleer de totale vervorming tot 70-80%, totdat het vanadium-doelstuk met de vereiste diameter en dikte is verkregen;
4. Gloei de gerolde vanadium target blank opnieuw bij een temperatuur van 450 graden -550 graden en een houdtijd van 90-150min. Na het opnieuw gloeien, koelt u het met water om de vereiste vanadium target blank met hoge zuiverheid te verkrijgen. De op deze manier bereide vanadium target blank heeft niet alleen een uniforme interne structuur, maar heeft ook de voordelen van fijne korrels.
Naast vanadiumtargets kunnen wij ook sputtertargets leveren zoals nikkel-vanadiumlegering, kobalt-vanadiumlegering, titanium-aluminium-vanadiumlegering, ijzer-vanadium-germaniumlegering, kobalt-ijzer-vanadium-siliciumlegering en vanadiumpentoxide.
