Het oppervlak van een doelwit wordt schoongemaakt om eventueel aanwezig stof of vuil te verwijderen. Er kunnen vier stappen worden gebruikt om metalen doelen schoon te maken:
Het reinigen gebeurt in eerste instantie met een in aceton gedrenkte, zachte, pluisvrije doek;
Om met alcohol schoon te maken, is de tweede procedure vergelijkbaar met de eerste;
Het reinigen met gedeïoniseerd water is de derde stap. Het doel moet na reiniging met gedeïoniseerd water 30 minuten in een oven op 100 graden Celsius worden gedroogd. Om de oxide- en keramische doelen te reinigen wordt een "pluisvrije doek" geadviseerd.
Het doel wordt in de vierde stap gespoeld met argon met een laag vochtgehalte onder hoge druk om alle onzuiverheden te verwijderen die tot vonken in het sputtersysteem zouden kunnen leiden.
Zorg ervoor dat uw handen schoon en pluisvrij zijn voordat u het doelmateriaal gebruikt. Leg uw handen nooit rechtstreeks op de doelstof.
De spatten die zich in het midden en aan beide zijden van de sputterbaan hebben opgehoopt, moeten geleidelijk worden verwijderd om kortsluiting en boogvorming te voorkomen die worden veroorzaakt door de vuile holte tijdens het sputterproces. Hierdoor kan de gebruiker ook continu met de maximale vermogensdichtheid werken. Sputteren.
