De interne structuur van het wolfraamdoel, gecreëerd door de huidige poedermetallurgietechniek, voldoet momenteel niet aan de toenemende eisen van het sputterproces op het gebied van homogeniteit en korrelgrootte. De volgende sectie beschrijft een nieuwe techniek voor het produceren van wolfraamdoelen.
1. Verstrek wolfraampoeder met een specifiek oppervlak groter dan of gelijk aan 1,1 mVg;
2. Sluit het wolfraampoeder vacuüm af in een rubberen omhulsel van 3 tot 5 millimeter dik of een aluminium omhulsel van 2,5 tot 3,0 millimeter dik;
3. De rubberen omhulsel of aluminium omhulsel wordt in een koude isostatische persoven geplaatst, waar het wolfraampoeder eerst wordt verdicht door de koude isostatische persprocedure om de eerste verdichte rubberen omhulsel of aluminium omhulsel te creëren. Voor de doelplano van wolfraam ligt de koude isostatische perstemperatuur op kamertemperatuur, de koude isostatische persdruk is meer dan of gelijk aan 150 MPa en de koude isostatische persdruk wordt gedurende één tot tien uur gehandhaafd;
4. De rubberen of aluminium omhulling wordt verwijderd na de eerste verdichtingsbehandeling en het eerste plano van wolfraam wordt vervolgens door een tweede verdichtingsbehandeling gebracht met behulp van een inductiesintertechniek om een tweede plano van wolfraam te creëren. Sinterinductie De procedure wordt uitgevoerd in een inductiesinteroven, die wordt verwarmd met een snelheid van 3 graden/min tot 10 graden/min, terwijl deze wordt geëvacueerd tot een vacuüm van minder dan of gelijk aan 10-1Pa;
5. Houd het daar 15 tot 20 uur vast tijdens het inductiesinteren;
6. Om een wolfraamdoel te maken, wordt het tweede onbewerkte wolfraamdoel na de tweede verdichtingsbehandeling door middel van heet isostatisch persen door de derde verdichtingsbehandeling geleid.
Voor het uitvoeren van het bovengenoemde hete isostatische persproces wordt een hete isostatische persoven gebruikt. De hete isostatische persoven wordt vacuümbehandeld totdat de vacuümgraad kleiner is dan of gelijk is aan 100 Pa, en vervolgens wordt deze op een specifieke temperatuur ingesteld. De hete isostatische persverwarmingssnelheid van de hete isostatische persoven wordt geregeld op 3 graden /min tot 10 graden /min, en de hete isostatische perstemperatuur varieert van 1700 graden tot 1900 graden. De temperatuur en de hete isostatische persdruk worden gedurende 2 tot 5 uur gehandhaafd en de hete isostatische persdruk is meer dan of gelijkwaardig aan 180 MPa.
