De term "sputterdoel" beschrijft een sputterbron die onder de juiste procesomstandigheden wordt gesputterd en afgezet op een substraat door magnetronsputteren, multi-arc ion-plating of andere soorten coatingapparatuur om verschillende functionele dunne films te creëren. gebruikt in een verscheidenheid aan industrieën, waaronder zonnecellen, platte beeldschermen, halfgeleiders, platte elektronica, gereedschap, glas en decoratieve toepassingen. Op verschillende terreinen zijn verschillende doelmaterialen nodig.
Het brandende doelwit opzetten
Volgens de procedure kan de bereiding van sputterdoelmaterialen in twee categorieën worden verdeeld: poedermetallurgie en gesmolten gieten. De omstandigheden waaronder het materiaal wordt verwarmd tijdens het warmtebehandelingsproces en de daaropvolgende verwerkingstechnieken moeten zorgvuldig worden gecontroleerd, naast de zuiverheid, dichtheid, korrelgrootte en kristaloriëntatie van het materiaal. controle.
1. Metaalbewerking met poeders
Om met succes doelen te kunnen voorbereiden met behulp van poedermetallurgie, is het belangrijk om: (1) zeer zuiver en ultrafijn poeder als grondstof te kiezen; (2) een vorm- en sintertechnologie kiezen die een snelle verdichting kan bereiken om een lage porositeit van het doel te garanderen en de korrelgrootte onder controle te houden; en (3) strikt toezicht houden op de introductie van onzuiverheidselementen.
2. De smeltgietaanpak
Een van de fundamentele technieken voor het maken van sputterdoelen is het smeltgietproces. Het smelten en gieten van de staaf gebeurt doorgaans onder vacuüm of een beschermende atmosfeer om ervoor te zorgen dat het gehalte aan onzuiverheidselementen zo laag mogelijk is. Er is echter een bepaalde hoeveelheid porositeit binnenin het materiële raamwerk is onvermijdelijk tijdens het gietproces. De kwaliteit van de gesputterde film zal worden beïnvloed door deze poriën, omdat ze ervoor zullen zorgen dat de deeltjes zich verspreiden tijdens het sputterproces. Om de permeabiliteit ervan te verminderen, zijn aanvullende thermische verwerkings- en warmtebehandelingsprocedures nodig.
