De grootste fabrieken voor sputterdoelen ter wereld produceren momenteel sputterdoelen van aluminiumlegeringen met behulp van twee afzonderlijke processen. gevormd met behulp van spuitgieten. Volgens erkende giet- en smeedtechnieken resulteert de toevoeging van legeringsmaterialen tijdens de productie van sputterdoelen van aluminiumlegeringen vaak in segregatie van de doelen, wat op zijn beurt de kwaliteit van de sputterfilms verlaagt en er zich waarschijnlijk microdeeltjes zullen vormen op het oppervlak van het sputterdoel, wat ook zal veranderen hoe uniform de eigenschappen van de film worden verdeeld.
Hoewel de hierboven genoemde problemen vermeden kunnen worden, zal het sputterdoel nog steeds geproduceerd worden als het sputterdoel van een aluminiumlegering vervaardigd wordt met behulp van het bekende spuitvormproces. De productiekosten stijgen aanzienlijk, vooral bij het maken van sommige sputterdoelen die moeilijk te vervalsen zijn en het gebruik van warme egalisatie vereisen.
Bij deze techniek wordt gebruik gemaakt van gassproeipoeder om sputterdoelen van aluminiumlegeringen te maken, waardoor de productie van doelen van titanium-aluminiumlegeringen eenvoudiger en goedkoper wordt. Het legeringspoeder wordt gezeefd in vergelijking met het grondstofpoeder van het sputterdoel om de juiste poederdeeltjesgrootte te krijgen, en vervolgens wordt het poeder vacuümheet geperst om het sputterdoel van de aluminiumlegering te creëren. Het creëren van verschillende sputterdoelen van aluminiumlegeringen (aluminium- chroom, aluminium-silicium-koper, aluminium-titanium, enz.) kunnen worden bereikt met behulp van deze methode voor het produceren van sputterdoelen van aluminiumlegeringen met luchtspuitpoeder.
De aanbevolen implementatieprocedure is om eerst metalen grondstoffen te leveren voor de vervaardiging van sputterdoelen van aluminiumlegeringen en deze te smelten tot gesmolten metaal; maak vervolgens metaalpoeders van het gesmolten metaal met behulp van de gassproeimethode; en tenslotte verwarm je de metaalpoeders met behulp van vacuüm. gevormd tot een aluminiumlegering die zal sputteren en door een inert gas als beschermgas gaat. Dit proces kan sneller en goedkoper sputterdoelen van hoge kwaliteit produceren, terwijl de nadelen van materiaalsegregatie en microdeeltjes worden vermeden.
