Molybdeen (10%) niobiumlegering sputterdoelen hebben brede toepassingsmogelijkheden in dunne-film zonnecellen en displays. Echter, vanwege de absorptie van zuurstof door niobiumpoeder tijdens het sinteren, heeft de gesinterde molybdeen-niobium blanco een hoog zuurstofgehalte en een lage dichtheid. Deze keer werd niobiumpoeder met niobiumkoolstofcoating bereid door chemische dampreactie onder CH4-atmosfeer.
De niobiumkoolstoflaag voorkomt niet alleen de absorptie van zuurstof, maar kan ook volledig worden verbruikt door de reactie met zuurstof bij de vereiste temperatuur.
De effecten van de bereidingsmethode, het reactiemedium en de reactieparameters op de prestaties van de niobiumkoolstoflaag werden bestudeerd en de optimale procesomstandigheden werden als volgt bepaald: temperatuur 600 graden, reactietijd 270 min en gasdruk 0,04 MPa.
De oppervlaktemorfologie, chemische samenstelling, verdeling en uniformiteit van de coating werden gekarakteriseerd met behulp van rasterelektronenmicroscopie, röntgenfoto-elektronenspectroscopie, elektronensondemicroanalyse, Ramanspectroscopie en atoomkrachtmicroscopie.
De zuurstof- en koolstofgehaltes werden bepaald door ONH- en CS-analysatoren. Het oppervlaktegemodificeerde niobiumpoeder werd gemengd met molybdeenpoeder en vacuümgesinterd om een Mo-10%Nb-blanco te verkrijgen met een zuurstofgehalte van 190 ppm, een koolstofgehalte van 290 ppm en een relatieve dichtheid van 93%.
Toepassingen van niobiumdoelen
Niobium-sputterdoelen zijn het belangrijkste bestanddeel van niobium en de legeringslagen ervan en worden veel gebruikt in corrosiebestendige omgevingen zoals zonnecellen, TFT-LCD-kleurenschermen, optische lenzen, elektronische beeldvorming, informatieopslag, glascoatings, maar ook in transport, chemische productie, enz.
Tegenwoordig worden niobium sputter targets voornamelijk gebruikt in oppervlaktecoatings van geavanceerde touchscreens, flat panel displays en energiebesparend glas. Het heeft een antireflecterend effect op glazen schermen.
Niobium targets met een hoge zuiverheid zijn beschikbaar in verschillende vormen, zuiverheden, maten en prijzen. Neem contact met ons op voor meer informatie!
