Niobiumoxide doelen

Op dit moment wordt bij de bereiding van niobiumoxide-doelen voornamelijk een heetperssinterproces toegepast, maar de tekortkomingen van slechte compactheid en geleidbaarheid worden over het algemeen voorbereid, wat moeilijk is om te voldoen aan de vereisten van DC-magnetronsputtering voor doelmaterialen. Bovendien heeft het heetpers-sinterproces een lange sintertijd, een hoog energieverbruik en hoge kosten. Op basis hiervan is het noodzakelijk om een ​​Niniobium oxide target te voorzien met een laag energieverbruik, lage kosten, goede compactheid en geleidbaarheid, en bereidingswijze daarvan.

De volgende stappen zijn inbegrepen:

Niobiumpentoxidepoeder en niobiumpoeder werden gelijkmatig gemengd en 0,5-3 uur gecalcineerd bij 600~800 graden onder een zuurstofatmosfeer of luchtatmosfeer om een ​​voorbehandeld poeder te verkrijgen;

Het poeder wordt gedurende 0,5-1 uur gesinterd in een grafietvorm bij 900~1200 graden onder een beschermende gasatmosfeer om een ​​niobiumoxidedoelwit te verkrijgen.

De bereidingsmethode van de bovenstaande niobiumoxidedoelen, nadat het niobiumpentoxidepoeder en niobiumpoeder gelijkmatig zijn gemengd, de oxiderende calcineringsbehandeling wordt uitgevoerd en het oppervlak van het niobiumpoeder wordt geoxideerd om een ​​geactiveerde oxidefilmbarrière te vormen, zodat om het niobiumpentoxidepoeder te dispergeren, vermijd het fenomeen van agglomeratie veroorzaakt door lokaal sinteren van niobiumpentoxidepoeder, en het verkregen voorbehandelde poeder is niet geagglomereerd, niet-gebonden, heeft een goede vloeibaarheid en geconcentreerde deeltjesgrootteverdeling. Onder hen heeft het niobiumpentoxidepoeder een hoog specifiek oppervlak en een hoge activiteit, en de deeltjesgrootte is klein, wat op zijn beurt de temperatuur van het sinteren door heet persen verlaagt en de tijd van sinteren door hete pers verkort, waardoor het energieverbruik wordt verminderd en kosten van sinteren in de hete pers, verkorting van de productiecyclus en effectieve verbetering van de verdichtingsgraad van het niobiumoxide-doel verkregen door sinteren door hete pers.

De chemische formule van het niobiumoxidedoel bereid door de bovenstaande bereidingsmethode is Nb2Ox, 4.0 Kleiner dan of gelijk aan x Kleiner dan of gelijk aan 4,9, het doel heeft een hoge compactheid, lage porositeit en een vlak oppervlak zonder kuilen, en de dichtheid is zo hoog als 4.57g/cm3. De geleidbaarheid is hoog en de soortelijke weerstand is 2×10-3~8×10-3Ω·cm. Onder hen verwijst de relatieve dichtheid naar de verhouding van de dichtheid gemeten door de Archimedes-drainagemethode vaste dichtheidsdetector tot de theoretische dichtheid, en de grootte van de relatieve dichtheid geeft de mate van verdichting van het materiaal aan, en hoe groter de relatieve dichtheid, hoe hoger de verdichtingsgraad van het materiaal.

Populaire tags: niobiumoxide doelen, leveranciers, fabrikanten, fabriek, aangepast, kopen, prijs, offerte, kwaliteit, te koop, op voorraad