Vlak Niobium-doel

Sputterdoelen vereisen een homogene samenstelling, geschikte deeltjesgrootte en specifieke kristallografische oriëntatie, en de hoge eisen van deze sputterdoelen zijn allemaal gericht op het bereiken van een uniforme filmafzettingssnelheid over het gehele substraat. Niobium-doelen worden voornamelijk gebruikt in oppervlaktetechnische materialen, zoals mariene, chemische en vloeibare kristaldisplays, en coatingindustrieën zoals hittebestendigheid, corrosieweerstand en hoge geleidbaarheid. Een plat niobium-doel is een niobium-doel met een diameter groter dan of gelijk aan 150 mm, dat meestal een kaal doel wordt genoemd, en de gebruiker last het eerst met een koperen of aluminium achterdoel bij gebruik en sputtert vervolgens om niobiumatomen af ​​​​te zetten op het substraatmateriaal om sputterende coating te verkrijgen. Om de uniformiteit van de coating te bereiken, moet het vlakke niobiumdoel de niobiumgietkristallen verpletteren om ervoor te zorgen dat de interne structuur van het niobiumdoel volledig wordt herkristalliseerd, de korrelgrootte kleiner is dan 100 μπι en het is uniform.

Ons bedrijf biedt een nieuwe bereidingsmethode, inclusief de volgende stappen: de niobiumstaven worden radiaal en vierkant verlengd, de gesmede niobiumstaven worden gebeitst en de gebeitste niobiumstaven worden met warmte behandeld; Vervolgens worden de niobium-blokken afgeplat en gesmeed, de gesmede niobium-blokken worden gebeitst en de ingelegde niobium-blokken worden met warmte behandeld; Ten slotte worden de niobiumstaven gerold om een ​​vlak niobiumdoel te verkrijgen.

Tijdens het voorbereiden van een niobiumdoel, is het smeedproces een combinatie van radiaal vierkant, axiaal verlengen en afvlakken, zodat het kolomvormige kristalgebied in de niobiumstaaf, het centrale gelijkassige kristalgebied en de nabijheid van de rand van de niobiumstaaf, de metaalstroom van het centrale deel van de blanco neemt toe, de oneffenheid van de centrale structuur is aanzienlijk verbeterd en de originele gegoten grove kristalstructuur is volledig gebroken in meerdere richtingen onder multidirectionele kracht, waardoor de niobiumstaaf wordt bevorderd om een ​​relatief uniforme korrelstructuur te verkrijgen. Het vermijdt de aanwezigheid van schadelijke weefsels zoals "kristalband"-weefsel en grof kristallijn weefsel dat door het centrale deel wordt achtergelaten zonder effectieve fragmentatie; In de walsfase is de vervorming van niobiumstaven uniformer, en na verwerking, met het tussentijdse warmtebehandelingsproces, is de structuur van het niobiumdoelmateriaal steeds homogener en verfijnder, en ten slotte een gelijkassige kristallijne structuur vlak niobiumdoel met een uniforme structuur en korrelgrootte van minder dan 100 m wordt verkregen. Daarom werd met deze bereidingsmethode een gelijkassige kristalstructuur met uniform weefsel en korrelgrootte van minder dan 100 A verkregen.

Populaire tags: planar niobium target, leveranciers, fabrikanten, fabriek, aangepast, kopen, prijs, offerte, kwaliteit, te koop, op voorraad